ThermoFisher Scientific
Quattro S
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2020-12-18
419,270,080원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
- 전자총에 전압과 전류를 집속하여 빔을 형성하여 시료표면에 빔을 조사시켜 발생하는 2차전자를 신호원으로 이미지를 형성
- 각종 온도, 습도, 압력 범위에서 시료의 in-situ 관찰이 가능
○ Resolution :
- ESEM: 1.3 nm at 30 kV
○ Vacuum
- High Vacuum : < 6x10-4Pa
- ESEM : up to 4000Pa
○ Detectors
- Large Field Low vacuum SED(LFD)
- Everhart-Thornley SE detector (SED)
- Gaseous SED (GSED)
- Directional Backscatter (DBS) detector
- Gaseous analytical BSED (GAD)
- In-chamber sample navigation camera (Nav-Cam)
- vCD(low voltage high contrast detector) ○ In-situ stage
- 1400℃ Heating stage