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- i-Tube No. 2012-C-0668
- NTIS No NFEC-2020-12-266541
- 설치기관 한국광기술원
- 주소 광주광역시 북구 첨단벤처로108번길 9 한국광기술원
- 담당자 황정우 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Kla Tencor
-
모델 명
D-300
내용연수10년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
장비활용범위공동활용서비스
-
취득일
2020-12-08
취득금액49,500,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료14,000원
장비설명
* 원리 : 시료 표면의 박막을 스타일러스라는 촉침을 이용하여 직접 스캔, 박막단차를 측정하는 장치임
- 장점 : 신속한 측정이 가능함
- 단점 : 측정한 시료는 실제 제품으로 사용하기 어려움(박막을 컨택하여 측정하기 때문에 시료 손상)
장비 구성 및 성능
○ Step height repeatability : 5Å이하
○ 최소측정박막두께 : 50Å
○ Optical lever sensor head
○ Vertical : range : 0~1000um
○ Force range : 0.5 ~15mg
○스캔(측정)거리 : ≥30mm
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
i-Tube 대표문의 : 1811-9126 / KIAT 대표 콜센터 : 02-6009-3000
