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- i-Tube No. 2011-C-0612
- NTIS No NFEC-2021-03-269287
- 설치기관 고려대학교산학협력단
- 주소 서울 성북구 안암동5가 고려대학교 내
- 담당자 심재원 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
(주) 넥서스비
-
모델 명
nexus mini
내용연수12년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비
장비활용범위공동활용허용
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취득일
2020-11-27
취득금액56,800,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
ALD는 원자층 증착기로 자기 제어 형태의 박막 제조 원리를 사용한 초박막 산화물 증착이 가능함. 다양한 전구체와 물 및 열을 가해 박막이 제작되며, 투명전극, 전하수송층을 제작이 가능함.
장비 구성 및 성능
Deionized water를 보관하는 컨테이너, 다양한 전구체를 보관하는 컨테이너, 시편을 올려놓을수 있는 챔버, 질소 가스, 컨트롤 용 컴퓨터로 구성됨. 또한 기판 열을 제어 할 수 있는 시스템으로 구성됨.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
i-Tube 대표문의 : 1811-9126 / KIAT 대표 콜센터 : 02-6009-3000
