X선을 이용하여 여러 각도 (0∼360°) 에서 얻은 X 선 영상을 컴퓨터를 이용하여 3차원 영상으로 재구성이 가능하여 분리막 및 모듈의 구조 분석 가능 (비파괴 검사)
○Imaging Specifications
- Spatial Resolution : 0.95 um
○ X-ray Source
- Tube Voltage Range : 30 160 kV
- Maximum output : 10 W
○ Detector system
- CMOS Flat Panel : 3072 x 1944 pixels
- Single field of view : 140 mm / 93 mm
○ stages
- sample stage travel : 50 100 50 mm
- sample size limit : 300 mm