□ 회전축, C축
-흔들림 편차 : 0.03㎛+0.0006(㎛/㎜ 측정높이)
-축방향 흔들림 편차 : 0.04㎛+0.0006㎛/㎜ 측정지름)
-진원도 편차 : 0.02㎛+0.0003㎛/㎜ 측정지름)
□ 센터링 및 틸팅 테이블
-미세조정 :수동
-테이블 지름 : 160㎜
-테이블 허용 하중, 중심 : 200N
-회전 엔코더(50Hz/60Hz) : 1～15ℓ/min
□ 수직칼럼, Z축
-측정거리 : 250㎜
-진직도 편차/100㎜ : 0.4㎛
-진직도 편차/전체구간 : 1㎛
-평형도 편차, Z/C축 : 1㎛
-측정 및 이송속도 : 0.5～20㎜/s
□ 수평유닛, X축
-이동거리, 모터구동 : 150㎜
-이동속도 : 0.5～30㎜/s
□ 측정범위
-최대지름/높이 : 230㎜ / 380㎜
-C/Z축 거리 : 218㎜ .