Thermo Scientific
Nexsa-XPS system
10년
주장비
시험
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > X-선광전자분광기
2020-12-31
652,472,172원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
◦ 고체시료(반도체, 화합물 반도체, 금속, 세라믹, polymer, 이차 전지, Thin-film, glass, 광학섬유, 터치스크린, 렌즈 등)의 표면에 Soft X-Ray를 주사하여 발생하는 광전자의 운동 에너지를 측정하여 시료의 조성과 성분을 측정함. 물질의 화학적 결합상태(Chemical state)를 쉽게 확인할 수 있음
○ Ultimate energy resolution : ≤0.48eV
○ X-ray photoelectron imaging
: Lateral resolution of the parallel imaging is ≤3㎛
○ Automated monochromatic X-ray source
: Bigger than 500 mm Rowland circle geometry
○ Gas cluster ion source
- Monatomic Ar+ ion mode : 500eV ~ 4keV or higher
- Arn+ cluster ion mode : 500eV ~ 8keV or higher, cluster size 250 ~ 3000 or higher
○ Turbomolecular pump pressure in analysis chamber : < 5x10 -10 torr
○ Heating and cooling in analysis chamber and load lock chamber
- Temperature range : +800℃ ~ -100℃ or wider
- A heat &cool sample holder with on board heater and thermocouple