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10년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2021-02-02
48,530,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
[Hr] 120,000원
본 장비는 Wafer, Glass 등의 목적물을 HF, SPM(H2SO4+H2O2), SC-1(NH4OH+H2O2+H2O)의 Chemical을 이용하여 식각공정을 수행 후 DI.W로 세정하는 것을 목적으로 하는 장비이다.
장비의 외관은 PRESS IVORY PVC PLATE 로 구성되며 전면 DOOR 타입은 UP/DOWN 방식으로 개폐된다.
SPM Bath는 L.C.S.S에서부터 Pump를 이용하여 자동으로 공급되며 그 외의 SC-1 , HF/BOE Bath의 용액 Supply는 Manual 방식으로 공급한다.
모든 Bath의 용액 Drain 은 스위치를 통해 조작 하며
HEATER 가 내장된 Bath는 별도의 Interlock을 설정하여 사용간 안전을 도모한다.
재질 - SUS304+내산도장 & PRESS IVORY PVC PLATE
외관 Dimension- 1800(W) X 900(D) X 2000(H)
설비 내부에 비커 등의 거치용 선반 장착
내부 구성은
SPM Bath – SC-1 Bath – HF/BOE Bath - Rinse Bath –Sink Bath +Goose Neck Type Faucet (Foot Switch 작동 방식)
SPM Bath
재질-PTFE 12T
Size(외경기준) : 250(W) X 240(D) X 270(H)
사용온도 : 150℃ (Quartz Heater , PID 제어)
Chemical Supply : Auto Supply by pump (FROM L.C.S.S).
농도 조절 기능 : Bath 내부에 N2 Multi Sensor를 설치하여 용액 공급 시 L.C.S.S로 부터 Bath로 공급되는 양을 Check 할 수 있게 한다. 최대 8접점 설정 가능 (지정 용량 미달 시 알람 발생) ※ (N2 차압을 이용한 LEVEL 관리 [S.I.E특허 / CE 인증 획득 제품]),
SC-1 Bath
재질 : PTFE 12t
Size(외경기준) : 250(W) X 240(D) X 270(H)
사용온도 : 80℃ (Quartz Heater , PID 제어 , N2 level interlock, Temp interlock)
Chemical Supply : Manual Supply by Operator
HF/BOE Bath
재질 : PTFE 12t
Size(외경기준) : 250(W) X 240(D) X 270(H)
사용온도 : ROOM Temp
Chemical Supply : Manual Supply by Operator
Rinse Bath
재질 : 투명 PVC 10T
Size(외경기준) : 240(W) X 240(D) X 240(H)
사용온도 : Room Temp.
Bath Process : 4 side overflow by V-notch
Quick Dump Drain
DIW Shower by 반도체용 nozzle
N2 bubble
Process Cycle Counter
Drain : Local drain (Quick Dump Drain)
Operation Valve : Air operated auto valve & Manual valve
Diffuser Plate : 투명 PVC 10T
DIW Sink Bath
재질 : PP 8T
Size(외경기준) : 296(W) X 296(D) X 121(H)
사용온도 : Room Temp.
Bath Process : Goose Neck type Faucet (Foot Switch 작동 방식)
Drain : Local drain.