리드엔지니어링
Vulcan-H62SL
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 재료물성시험장비 > 플라즈마기상화학증착장비
2021-03-26
679,800,000원
직접사용
고정형
기타
400,000원
- 저압 및 고온 전기로를 통해 웨이퍼 표면에 다양한 반응성 가스를 이용하여 박막을 증착
- 4개의 진공 튜브로 이루어져 있으며 N+ In-situ dopped-poly silicon, poly & amorphous silicon, silicon nitride, Medium temperature oxide 총 5 종류의 박막을 각각의 진공 튜브에서 형성
1. 주(물품)장비(Main system)
1) 4 tubes
2) Wafer loading & Unloading paddle 2 set
3) Booster+Dry Pump 4 set
4) Gas 6 set
5) Operation system 1 set
2. 부속(물품)장비(Accessories)
1) Gas cabinet(2 bottle 1set, 1 bottle 3set) 4 set
2) Toxic gas scrubber(Heat & Wet type) 1 set