Tescan
Vega GMS
10년
주장비
시험
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2021-03-16
193,776,700원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
75,000원
Column에서 방출된 전자가 시료에 주사되어 나온 2차 전자 혹은 반사 전자를 검출해서 시료의 표면정보를 관찰하는 장치로서, Photo lithography 또는 etch 공정 진행 후 결과를 확인할 때 활용하기 위하여 도입한 장비입니다.
■ Electron Gun: Tungsten heated cathode
■ Resolution(High Vacuum) : 3.0 nm at 30 kV, 8.0 nm at 3 kV
■ Magnification : 2x – 1.000.000x
■ Large multi-ported specimen chamber
■ Interal dimension : 209mm(width)*340mm(depth)
■ Chamber Vacuum(High Vacuum Mode) : < 9 x 10 –3 Pa