J.a.woollam
M-2000
10년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 광학검사기
2021-03-19
193,775,363원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
30,000원
반도체 CMOS, MEMS, Display, BIO, III-V 등 연구에 필요한 단층 및 다층 박막을 광학적인 방법을
사용하여 SubÅ ~ 수㎛ 두께 범위의 두께 및 굴절 율 등을 측정하는 spectroscopic ellipsometer 장비
1) 장비 크기: table포함 1700(가로) X 1400(세로)
X 1700(높이)mm 이하
2) Sample plate size: 300X300mm
(300x300mm travel distance)
3) 측정 두께 범위: Sub Å ~ 수 ㎛
(박막에 따라 차이 있음)
4) Spectral range & Spot size: 245 nm ~ 1,000
nm, ≤ 1mm
5) 측정 속도: ≤ 5sec/site
6) 측정 박막 종류: Semiconductor : Poly-Si, Ge, ONO, etc
Dielectrics : SiO2 , TiO2 , Ta2O5 , ITO, AIN, Si3N4 , etc
High-K 절연막: Al2O3, HfO2, TiO2, etc. 기타 박막
7) 다층 박막 측정: 2층 이상 박막의 두께 측정 가능
8) 측정 항목: Film thickness, R.I, n, k, λ, Δ, ψ