나노스코프시스템즈
NS-200
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2020-12-30
36,498,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
30,000원
1. 장비의 개요
본 장비는 반도체소자 및 재료의 광학 신호 분석을 위한 장비로 고집적화 디바이스 및 차세대 디바이스 개발에 필요한 광학 신호 분석, 파장, 진동, 회절 분석, 물질 성분 분석을 위한 라만 스펙트럼을 취득하는 장치이다.
2. 장비의 특징
본 장비는 소형의 미세규격 소재부터 샘플 직경 100 mm 이하 크기의 시료까지 다양한 형태와 크기를 갖는 물질을 대상으로 동일한 위치에서 표면분석, 발광분석 및 분자구조 해석을 위한 측정 시스템으로서 다음과 같은 특성을 가지고 있다.
(1) 분말, 액상, 생체시료 등 다양한 유형의 소재에 대한 광학신호 및 라만 분석
(2) 시료의 동일한 위치에서 광학신호 및 라만 분석
(3) 샘플 직경 100 mm 이하 다양한 크기의 시료에 대한 광학신호 및 라만 분석
3. 장비의 개략적 구성 및 특성
본 장비는 라만분광기 & 785nm 레이저 & 라만 샘플 스테이지, 시스템 컨트롤 컴퓨터 및 모니터 등으로 구성되어 있으며, 자동 레이저 정렬 및 자동 보정, 오토 포커싱, 초점 차이(focal shift between Raman and microscope)의 자동 보상기능, 실시간 관찰기능을 가지고 있으며, 연구소 시설 내 설치 및 활용에 적합하며, 대학 내 · 외부 및 기업체의 다양한 공정의뢰(또는 직접사용)를 수행하는 연구소 규모에 적합한 장비이다.
1. 일반사항
1.1 공급의 범위는 아래와 같고, 납품 그리고 검수 및 기술지원에 수반되는 제반 비용은 공급자가 부담으로 하는 것을 원칙으로 하며, 장비는 총 1 개 시스템에 아래 2 가지 항목으로 구성된다.
(1) 라만분광기 & 785nm 레이저 & 라만 샘플 스테이지 : 1 세트
(2) 시스템 컨트롤 컴퓨터 및 모니터를 비롯한 추가 물품 : 1 세트
1.2 라만분광기는 동일한 위치 측정이 가능
1.3 샘플 직경 100 mm 이하 크기의 시료에 대한 장착 및 분석이 가능한 스테이지와 연동
1.4 자동 레이저 정렬 및 자동 보정이 가능
2. 세부사양 및 성능
2.1 측정 시료 크기
- 직경(φ) : ~ 100 mm 장착 가능
2.2 레이저 사양
- Laser wavelength : 785nm +/- 1nm (1개)
- Laser output power : 시편단에서 80mW 이상
2.3 분광 성능
- Spectrum range : 100-3200 cm-1
- Spectral resolution : < 10cm-1
- Exposure time : Min 5 msec ~ Max 65 sec
2.4 실시간 관찰이 가능(렌즈×20 기준, 480㎛×360㎛)
- 별도의 LED(또는 램프) 조명과 CCD에 의한 디지털 현미경 영상이 제공
- 라만 스펙트럼 취득 전 타겟 시료에서의 레이저 빔의 위치를 현미경 영상으로 확인 가능
- 대물렌즈를 추가하여 관찰할 수 있도록 터렛(turret)이 장착
2.5 고정 마운트 프레임 및 모터라이즈드 포커스 스테이지(Z축 분해능 : 1 ㎛)
- 모터라이즈드 수직 포커스 이동장치가 구비(Stroke : 24mm 이상)
- 오토 포커싱 기능(현미경 영상 관찰 모드)
- 측정 시 외부 빛을 차단할 수 있는 암실 구조로 되어 있음
- 초점 차이(focal shift between Raman and microscope)가 자동 보상
2.6 샘플 이송 스테이지(X축/Y축 분해능 : 1 ㎛)
- 시료 위치를 평면상에서 이동(Stroke ; 15mm x 15mm 이상)
- 사전에 지정된 영역에 대해서, 일정하게 지정된 간격으로 이송 스테이지가 자동으로 이동하면서 라만 스펙트럼을 연속적으로 취득할 수 있음.