엘티에스
스핀코터시스템
9년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2021-03-09
30,230,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
45,000원
1. 장비의 개요
본 장비는 웨이퍼 표면에 노광광원에 반응하는 감광액을 도포하는 장비로 Photo Resist(PR)을 웨이퍼 표면에 적당량을 도포한 다음 웨이퍼를 고속 회전하여 원심력과 마찰력으로 웨이퍼 표면에 고르게 도포시켜 주는 장비이다.
2. 장비의 특징
본 장비는 스핀코터와 베이크 시스템으로 구성되어 있으며, 스핀코터는 시편, 웨이퍼에 케미칼을 토출한 후 Spin Motor에 의해 회전해 일정한 두께의 막을 형성하기 위한 장치로 코팅을 위한 회전 시 정밀한 제어를 위해 AC Servo Motor를 사용하며 PLC 및 Touch Panel을 이용, 스핀코팅의 공정 레시피를 용이하게 작성, 제어 가능. 또한 공정 진행시의 데이터를 저장하고 백업 가능한 기능이 설치되어 있고, 베이크 시스템은 스핀코터에 의해 코팅된 시편,웨이퍼를 경화하기 위한 열처리 장치이며 고온의 Hot Plate를 적용하며 내부에는 시즈 히터가 설치되어 있으며 전용 온도 제어기와 PLC로 온도 제어 및 LIft Pin의 구동, Time제어 가능하다.
3. 장비의 개략적 구성 및 특성
본 장비는 공정 진행 시 발생되는 오염 및 냄새를 배출하기 위해 캐비넷 구조로 제작하였으며, 대학 내 · 외부 및 기업체의 다양한 공정의뢰(또는 직접사용)를 수행 가능한 장비이다.
1. 장비구성
- 2개의 스핀코터, 2개의 핫플레이트가 1개의 유닛으로 구성되어 있다.
- 각각의 스핀코터는 조각, 2인치, 4인치, 8인치의 웨이퍼척을 사용하여 코팅이 가능하다.
- 핫 플레이트는 3개의 지지대와 플레이트로 이루어져있으며 있으며, 지지대 위에 웨이퍼를 올리고 시간을 설정 후 시작버튼을 누르면 지지대가 내려가면서 웨이퍼를 플레이트 위에 안착시키고 설정된 시간이 끝나면 지지대가 다시 올라오는 방식으로 구동한다.