JEOL
JXA-iHP200F
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 전자현미원소분석기
2020-09-30
899,323,810원
기관의뢰
고정형
시간별
100,000원
본 장비는 전자빔을 사용한 X-선 미세 원소 분석인 EPMA는 이차전자상, 후방산란전자상을 EDS기반과 WDS기반으로 각각 측정할 수 있고 두 분광 시스템의 감도 향상과 정성/정량 분석시간을 단축 할 수 있어 점차 미세화 되어가는 소재 개발, 재료 부품 등에 응용이 가능하고, P, S와 같은 용접부에서 주로 발생하는 미량성분분석과 고정밀을 요구하는 분석에도 폭넓게 사용가능
• 전자광학계
- 전자총 소스 : Schottky emitter
- 2차전자 분해능 : 3nm (전압 30kV)
- 2차전자 분해능(분석조건)
: 조사전류 10nA 조건에서 20nm 이하
: 조사전류 100nA 조건에서50nm 이하
: 조사전류 1000nA 조건에서150nm 이하
- 배율 : 40x to 400,000x
- 후방산란전자 검출기 : 4분할
• 샘플 스테이지
- 최대 샘플 사이즈 : 100mm × 100mm × 50mmt
- 스테이지 가동 범위 : X, Y : 90mm, Z : 7mm
- 스테이지 이동 최소 단위 : X, Y : 0.02um, Z : 0.1um
• X-ray 분광기
- 분석 원소 범위 : Be ~ U
- 분광기 개수 : 5개 이상
- 분광결정 : 2개 이상 / 분광기
- X-ray Take Off Angle : 52.5도 이상
- Rowland Circle Radius : 110mm이하 (모든 분광기가 동일할 것)
• 진공 시스템
- 터보분자펌프 : 2 set
- 오일로터리펌프 : 2 set
- 이온펌프 : 3 set
- 이온펌프 배터리 백업
: 지속시간 170h 이상 (100uA 조건에서)
: 3대의 이온펌프를 백업할 수 있을 것
• 냉각시스템
- 냉각방식 : Thermoelectric device
- 냉각용량 : 230W
- 온도 안정성 : ±0.01 to ±0.03℃
• 에어컴프레셔
- 출력 : 0.45~0.6MPa
- 소음 : 54dB (1.5M) 이하
- 공기탱크 용량 : 5.5L 이상
PC 시스템
• 메모리 : 16GB 이상
• 하드디스크 : 1TB이상
• 디스플레이 : 23“ 터치패널 LDC
• MS Office
• 장비 컨트롤 : 키보드, 마우스, 터치패널