Taylor Hobson
LuphoScan 420HD
10년
부대장비(부가장치) (주장비:자유곡면 광학부품 초정밀 가공기)
분석
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2021-04-20
1,313,369,850원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
168,000원
레이저 간섭무늬를 이용한 3차원 형상 비접촉식 측정 장비
- 초정밀 평면, 구면, 비구면, 자유형상 광학 렌즈 및 반사경에 대한 형상 데이터를 취득할 수 있다.
- 접촉식 측정장비와 교차 분석을 통해 보다 신뢰성 높은 데이터를 확보할 수 있다.
- 최대 직경 420 mm 크기의 제품까지 측정이 가능하며, 높이는 100 mm까지 측정 가능하다.
Axis configuration : X, Y, Z, C(4-axis)
Measurement range for X, Y, Z-axis : 420, 420, 100 mm
Max. sample diameter : Φ420 mm
Z-axis resolution : 0.1 nm
X, Y, Z axis accuracy : ±50 nm
Max. measurement angle : 90˚
Max. loading capacity : 50 kg