성우테크론(주)
CAP-2000
9년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 카메라/영상처리장비 > 달리 분류되지 않는 카메라/영상처리장비
2020-12-31
269,500,000원
원
‘이미지 화상 인식 검사기(AOI)’는 고해상도 카메라를 이용하여 via가 형성되고, 패턴이 인쇄된 그린시트를 고속으로 스캔하여, 불량을 검출하고 검출된 불량의 수량과 위치를 report하는 장치이며, laser를 이용하여 via에 paste가 채워진 상태(via fill)를 검사하고, 인쇄된 패턴의 높이를 측정하는 장치임.
검사 가능 면적 360㎜×360㎜
검사 가능 두께 0.05-10㎜
검사 가능 Hole 10만개/sheet
검사 가능 인접Hole 거리 (중심간 거리) 100㎛
높이 보상 가능 범위(초점 심도) 150㎛
Table 평활도 < 50㎛
검사 Hole 인식 가능(육안측정대비± 5 um 이내)
검사 가능 최소 깊이 (50 um Hole 기준) 50㎛
검사 가능 Hole 크기 ∅50㎛
검사 가능 Void 크기 15×15㎛
높이 분해능(Z) 1㎛
높이 측정 정확도(Z) ±3㎛
높이 반복 정밀도 ±1㎛
Table / Head 위치 정확도 ±5㎛
Table / Head 위치 반복성 ±3㎛
검사 속도 10×100㎟/sec
검사 시간 (2만Hole ) 100sec/panel (200×200㎟)
검사 시간 (5만Hole ) 150sec/panel (200×200㎟)
검사 항목 (붉은 색 : 현 검사 항목) VIA Hole의 높이, 체적, 면적
Data 입력 방법 Gerber 274x
모델 교체 시간(신규) 5분
모델 교체 시간(기존) 3분
검사 data 저장 가
통계 처리 및 분류 (ITS) 가(방식 및 항목 협의)
Bar code 유(MES 연계 / 추후)
광량 보증 방법 유
위치 정확도 확인 방법(Moving part 정확도) 유
Verify 시스템 유
마킹 가 (펜 방식)