TESCAN
MIRA LMS
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2020-11-10
325,020,610원
기관의뢰 직접사용
고정형
기타
100,000원
본 전계방사형주사전자현미경은 집속된 전자빔을 시료표면에 주사하면서 전자빔과 시료와의 상호 작용에 의해 발생되는 이차전자(secondary Electron, SE) 혹은 후방산란전자(Back Scattered Electron, BSE)를 이용하여 시료의 표면을 관찰하는 장비이다. 반도체 제작 공정 중 시료의 표면을 관찰하여 불량을 확인하는 것이 보편적이며, 이는 반도체 제작 공정인 nm급의 형상을 관찰하기 위해서는 일반적 광학현미경이 아닌 주사전자현미경(SEM : Scanning Electron Microscope)로 관찰해야만 한다.
Resolution: 1.0nm(30Kv), 1.8nm(1Kv)
Magnification: 2~1,000,000x
Accelerating voltage: 0.05kV~30kV
Spcimen size: 230mm dia. 54mm height
Specimen stage movement: x80mm, Y60mm, Z47mm Tilt-80~80deg, Rotation 360deg