울텍
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5년
주장비
시험
전기·전자장비 > 전력발생장비 > 달리 분류되지 않는 전력발생장비
2020-10-29
140,567,920원
고정형
건별
60,000원
1. 본 설비는 대면적 무/유기 하이브리드 태양전지 소자를 제작하기 위한 장비임
2. 본 설비는 고순도의 Au, Ag, Cu, MoO3 등의 금속과 금속산화막을 넓은 증착속도 범위에서 증착 가능하여야 함
3. 전체 시스템은 공정챔버 모듈, 열증발원 모듈, 두께제어 모듈, 진공 모듈, 가스이송 모듈, 제어모듈, 시스템 프레임 모듈로 구성되어야 함
4. 공정 챔버에는 350mm×350mm 크기의 기판 1장 또는 다른 크기의 조각 기판들을 장착 가능한 기판 홀더 1개가 상부에 부착되어 있고, 증착용 소스 2개가 하부에 부착되어 있어야 함
5. 기판 홀더는 자성유체씰(Ferrofluidic seal)을 회전축으로 하여 회전이 가능하여야 하며, 회전 구동은 motor를 이용하여야 함
6. 2개의 열증발원은 각각의 개별 셔터를 가지고(총 2개 구성), 공압실린더를 사용하여 open/close 구동시켜야 함
7. 진공 모듈은 Cryo pump 및 Rotary pump로 구성되어야 하며, gate valve 및 angle valve는 공압을 이용하여 자동으로 작동되어야 함
8. 공정 챔버의 최저진공도는 6시간 이내에 5x10-7 Torr 이하를 만족할 것이 요구되며, 최저진공도를 측정하기 위해 Ion gauge가 장착되어있음.
- Substrate size & load capacity: 350mm*350mm 1 sample/batch
- W-boat 2ea
- Thermal power supply (5V/300A) 1ea + selector switch 1ea (2-channel)
- Thickness controller 1 set + Sensor 1 set
- Substrate holder rotation
- Cryo pump + Rotary pump
- Chiller for cryo pump cooling
- PC control (UPRO software)