(주)엠아이반도체
DW-07
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2020-12-23
93,390,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
17,000원
- 디캡스테이션(Decap-Station)은 EMC패키징된 파워반도체 소자의 내부를 검사하기 위해 케미컬 에천트를 사용하는 방법을 이용하여 EMC를 제거하는 용도의 장비이다. 이 장비를 이용한 작업(Decapsulation)을 통해 파워반도체 소자의 EMC를 제거한 후 소자 내부 파트(다이, 와이어, 리드프레임 등)의 분석을 진행하여 파트별 불량분석, 패키징 작업공정에서의 Auto System 장비를 이용하여 불량여부 분석 등을 진행하는 장비이다.
1) 2종류의 케미컬(발연질산, 황산)을 및 기타 케미컬로 사용가능
2) 2종류의 케미컬 및 기타 케미컬 Recipe에 따른 자동 혼합(Mixing기능) 사용 가능
- 혼합 비율: A:B=1:1~1:9
3) 케미컬 최소 분사량
- Single pump 시(1종류 케미컬 단독사용시): 0.01ml
- Dual pump 시(2종류 케미컬 혼합사용시): 0.02ml (예: 혼합비율 1:1=0.01ml:0.01ml 4) Handling IC size: 5x5mm~50x50mm
5) Heating 시스템
- 2중 히팅시스템: Jig Heater, Beam Heater
- Heating 온도: Jig Heater: (Room Temp.)~250°C
Beam Heater: (Room Temp.)~400°C
6) Cleaning solution shower기능, Dry 기능
- Cleaning solution 용액을 이용한 작업시료 Shower작업 가능
- Air 연결(사용자 시설에서 공급)하여 작업시료 Air Dry작업 가능
7) 그 외 케미컬 사용 가능한 단독 Manual Bath 포함
- 단독 Bath 사용을 위한 DI Shower 작업 가능
- 단독 Bath 사용을 위한 N2(Air) Dry 작업 가능
- 초음파 세척기 및 Hot Plate 포함