Nikon
BW-S505
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 디지털현미경
2020-12-23
142,560,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
18,000원
파워 반도체 소자의 구조, 형상 분석을 후 처리 작업 없이 고 정밀 측정 및 분석이 가능한 장비이다.
측정 Sample의 측정면을 접촉하지 않고, 표면 거칠기 값 구현이 가능하고, 단일 장비로서의 Database화하기 위한 고정밀 측정 및 표면 거칠기(surface roughness)를 2차원, 3차원으로 측정가능 하다.
광학현미경의 시야에서 1pm높이의 방향 분해능과 0.1nm급 초 평면 평균화 처리 및 필터 처리 없이 측정 가능하며, 저배율에서 고배율까지 같은 높이 분해능에서 측정 가능한 장비이다.
◯ 1pm(표시분해능), 10pm(실효분해능)의 측정가능
◯ PIEZO MOTOR 적용으로 0~100um의 높이를 1um 단위로 측정 가능
◯ 저배율부터 고배율의 간섭렌즈 채택 가능
◯ 측정범위 90um의 측정 범위
◯ 측정 범위 1nm급으로 실현