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- i-Tube No. 2010-F-0240
- NTIS No NFEC-2020-10-265262
- 설치기관 한국화학연구원
- 주소 대전시 유성구 장동 100
- 담당자 조영훈 (T. 042-860-7684 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
(주)제이하라
-
모델 명
F20-UVX
내용연수5년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 길이측정장비
-
취득일
2020-10-08
취득금액52,859,610원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료30,000원
장비설명
- 입사광과 바나광의 간섭에 의한 파장별 상쇄 및 보강을 측정하여 두께를 측정
- 수 nm에서 수 um 두께의 박막 측정
- Sinlge layer 뿐만 아니라 2중, 3중의 다중층 두께 측정이 가능
장비 구성 및 성능
1. 기본 장비
- Light Source : Tungsten-halogen /Deuterium
- Wavelength range : 200 ~ 1700nm
- Spot size : 500 um 1 cm
- Thickness range : 1nm ~ 250μm
- Accuracy: > 0.4 %
- Sample size: 1 mm 300 mm
2. 데이터 처리 시스템
3. 소프트웨어
4. 악세서리
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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