고분해능 Schottky type의 field emitter.
Resolution: 1.0 nm at 15 kV
Everhart-Thornley type detector.
High pressure measurement 가능 (130 pa 이상).
Be 이상의 경원소 함량 측정이 가능한 EDS system.
비전도성 샘플의 전 처리 없이 고 quality의 이미지 측정 기능.
Temperature dependent in-situ measurement system- 온도 범위 (- 190 oC ~ 800 oC)
고수분함량 소재 및 바이오 소재 측정 가능 (LN2 Cryo system w/ high pressure)
고분자 소재의 in-situ tensile 측정 가능 (5 kN)