Oxford Instruments
Symmetry
10년
부대장비(부가장치) (주장비:집속 이온 빔)
분석
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > X-선회절분석기
2020-06-29
187,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
200,000원
본 장비는 소재부품의 미세조직 관찰을 통해 결정학적 특성 분석, 결함해석, 고장분석 등을 수행할 수 있는 장비임.
집속이온빔(FIB, Focused Ion Beam)에 장착되어 관심 영역에 대해 실시간으로 식각(etching) 하며 결정학적 특성 분석이 가능함.
(결정학적 특성) 결정립 크기, 결정립의 배향, 응력 상태 등
(장비구성)
- 시료로부터 전자후방산란회절 정보를 검출할 수 있는 검출기
- 검출기 제어를 위한 컨트롤박스
- 장비운영 전용프로그램
- 전자후방산란회절 자료를 분석할 수 있는 전용 후처리 프로그램
- 구동 컴퓨터(데스크탑 형태)
(성능)
- 이미지 센서 타입: CMOS 타입
- 분석속도 3000pps (156x128, @Ni)
- 이미지 크기: 1,244 x 1,024
- 모터 구동 Insertion and Elevation
- Angular 해상도: 0.05도 이하
- 다이오드 FSD 시스템(Upper & Lower): 5개
- 근접센서 기반 안전 장치