나노스코프시스템즈(주)
CTRM750
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
2020-10-05
93,990,000원
기관의뢰
고정형
건별
70,000원
• 레이저 포인트 빔 스캐닝 방식의 광학적인 비접촉 방식으로 관측하면서 온도에 따른 반사율의 변화를 감지하여 시료의 발열 특성을 분석
• 소자의 발열에 의한 온도 분포를 마이크로미터 수준의 현미경 분해능으로 관찰할 수 있는 공초점 열반사 현미경
• 광학 현미경 중 우수한 해상도와 깊이 분별력을 갖는 공초점 현미경 기능이 포함되어 반도체 등 미세 패턴 제작 과정과 제작 중 생기는 결함들을 보다 면밀히 확인 가능
• 열분포 영상 외에도 z-stack 메커니즘과 연동하여 3차원 이미지로의 구성이 가능하여, 3D 프로파일 분석을 위한 다양한 분석 기능을 제공
1) 레이저 파장 : 635 nm
2) 스캔속도 : 실시간 레이저 스캔 이미징 가능
- 20 fps @ 1024 x 768 pixels (Bi-directional scan)
- 10 fps @ 1024 x 768 pixels (Uni-directional scan)
3) 스캔 방식 : Resonant scanner 및 Galvanometer에 의한 포인트 빔 스캐너 방식
- X축 스캐너 : Resonant scanner (8KHz line frequency 이상)
- Y축 스캐너 : Galvanometer scanner
4) 스캔 해상도 : 1024 x 768, 1024 x 384, 1024 x 192, 1024 x 96 pixels 의 4단계 조정 가능
5) 광 디텍터 : PMT(photomultiplier tube) 디텍터
- PMT에 의한 레이저 공초점 스캔 영상과, 광학 CCD 컬러 영상이 동시에 디스플레이 됨
6) 측정 성능 : 공간 분해능과 온도 분해능
- 횡방향 분해능 (Lateral resolution) : 0.3 um (선/공간 반복 시편 기준)
- 축방향 분해능 (Axial resolution) : 0.8 um
- 온도 분해능 (Thermal resolution) : 1℃ 이하
- 유효 열영상 해상도 (Active thermal pixel) : 1024x768 pixels
7) 프로브스테이션 : 1축의 모터방식 및 5축의 매뉴얼 방식의 이송 자유도를 갖추고 있음
- Motorized Z-stage : 공초점 열반사 현미경 헤드를 전동 방식에 의해 상하로 움직일 수 있어 다양한 두께
의 시편에 대해서 초기 위치를 설정할 수 있음. (Stroke: 50 mm)
- 현미경 이송용 매뉴얼 XY 스테이지 : 공초점 열반사 현미경 헤드가 장착된 프레임 전체를 X, Y 방향으로
이동시키기 위한 스테이지로, 시편을 고정한 상태에서 열반사 현미경
헤드를 이동시켜 관찰 영역을 변경할 수 있음(Stroke: 13x13 mm)
- 시편 이송용 매뉴얼 XYZ 스테이지 : 시편을 X, Y, Z 방향으로 이송할 수 있는 스테이지로 초기 시편의 위치
를 찾는 용도(Stroke: 18x18x14 mm)
- 마이크로 포지셔너 및 프로브 팁 : Micro-positioning 장치에 연결된 프로브 팁(Probe tip) 3개
8) Thermoelectric heating vacuum plate : 프로브스테이션에 장착되어 대물대 역할을 수행함. 시편을 고정하며,
고정 상태에서 온도를 제어하여 시편에 온도를 가할 수 있는 장치
- 진공 척(Vacuum chuck) : 진공 방식으로 시편을 고정
- 온도 제어 범위 : Room temperature에서 최대 120℃ 까지 가열 및 냉각
- 가열/냉각 방식 및 반응 속도 : Peltier 소자를 이용한 열전효과에 의한 빠른 온도 제어 방식.
상온에서 90℃ 까지 약 2분/ 90℃에서 상온까지 약 5분 이내로 가열 및 냉각
- 열전쌍(Thermocouple) 센서가 장착되어 플레이트의 표면 온도를 실시간 모니터링 및 피드백 제어
9) 관찰 대물렌즈 및 관찰 영역
- 대물렌즈 : 20X (NA/WD : 0.4/19.0mm), 50X (NA/WD : 0.6/11.0mm)
- 관찰영역 : 20X 대물렌즈 기준 700um x 525um
10) 측정 영상 분석 소프트웨어
- 측정 영상의 열분포 이미징 변환 기능
- 시편에 대한 표면 프로파일 측정 및 조도 산출 기능
- 필름, 유리와 같은 투명/반투명 재질의 투과 영상 측정 및, 단면 이미지 획득