파크시스템즈
NX10
9년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경
2020-05-15
123,500,000원
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기관의뢰
고정형
시간별
109,000원
시료의 형상과 물성을 나노미터 수준에서 측정하고 분석할 수 있는 장비로 나노기술 시대를 열어가는 중요한 도구로서, 스템셀, 폴리머, 그라핀과 같은 나노계측이 필요한 연구분야 뿐만 아니라 배터리, 소재, 화학, IT 디바이스, 반도체 등과 같은 산업분야의 제품개발과 관리 그리고 생산공정에서도 도입이 되고 있는 차세대 계측장비
○ 현미경 스캐너 주요 사양
- 수평방향(XY) : (측정 영역) 10 μm × 10 μm 이상, (분해능) 1 nm 이하
- 수직방향(Z) : (측정 영역) 1 μm 이상, (분해능) 0.2 nm 이하
○ 프로브(Cantilever) 주요 사양
- 진동 주파수 : 1 MHz 이상
- 검출 방식 : SLD(Super Luminescent Diode) 이용
○ 기타 주요 사양
- 샘플 스테이지 이동거리 : (수평, XY) 15 mm × 15 mm 이상, (수직. Z) 20 mm 이상
- 샘플 하중 : 400 g 이하
- 액티브 진동차단 시스템 및 소음 차폐장치 설치 : 측정 시 외란 최소화