TEL
Unity SCCM Shin
9년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2019-11-27
176,000,000원
직접사용
고정형
시간별
200,000원
TEL(Tokyo Electron)사의 대표적인 식각장비로 CCP type의 모델명 Unity SCCM Shin장비.
양산용 12인치 식각장비로써, 시스템을 구성하고 있는 RF generator, matcher, gas box, EFM 등과 같은 부분품들을 갖추고 있어 장비의 분해.조립을 통해 선진 장비의 노하우를 습득할 수 있음
- 300미리 플라즈마 식각장비 (중고장비로 “(주)서플러스글로벌“사의 창고에 보관 중
- 장비 구성
. Main Frame
. Process Module (3 Chamber System)
: Top RF Generator/Matcher
: Bottom RF Generator/Matcher
: High Vacuum System
: Gas Box
. EFEM
- 3년간 무상 수리 및 Part공급 지원
-Robot수리 및 Part
-RF Generator/Matcher
-DC Power Supply
- 3년간 3회 장비 Training 무상 지원
* 주요 사양은 하단에 별도 기술