CrystaLaser
Combined laser 100mW
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2020-11-12
65,695,500원
기관의뢰
고정형
시간별
25,000원
파장이 매우 짧은 자외선 대역의 레이저 빔을 나노패턴에 조사하고 이때 산란되어 나오는 빛의 회절 패턴을 분석하여 검사대상 패턴의 오류유무 확인(회절 특성 분석용 광원으로 활용하여 나노패턴 오류유무를 확인가능)
Dual Wavelength UV laser: 349nm ~ 355nm combined laser with Combining optics
Pulse repeat rate : ≥ 1kHz
0 Hz to 200 kHz by external trigger
Separate laser control
Transverse beam mode TEM00