Tescan
CLARA
10년
주장비
시험
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2021-04-06
467,977,000원
기관의뢰
고정형
시간별
54,000원
일반광학현미경으로 관측이 어려운 시료의 미세영역을 고배율 50만 배 이상으로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구개발과 품질관리 향상에 필수적인 기기이다. 이 주사전자현미경(SEM)은 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료표면의 관찰영역에 조사할 때 시료표면에서 발생되는 각종 정보들을 검출기를 이용하여 LCD로 영상을 표시하는 기능을 있다. 특히 이 장치의 경우 정전기 대물렌즈와 업그레이드 된 검출 시스템을 기반으로 Field-free 초고 해상도 영상을 산출하며, 자기장이 샘플에 영향을 주지 않아 자성 및 비자성 샘플 모두 고해상도 결과를 검출할 수 있다. 또한 이 장비는 에너지분산분광기(EDS)가 부착 되어있어 관심 영역에 대한 정량 및 정성 분석이 가능하다.
<1> 전자광학:
1) 전자총 : High brightness Schottky emitter
2) 분해능 : 1.0 nm at 15kV or 이상
1.6 nm at 1kV or 이상
3) 배율 : 10 x – 1,000,000 x or 이상
4) 전자빔 에너지 : 50 V to 30 kV or 이상
5) 프로브 전류 : 3 pA to 20 nA or 이상
beam optimization including direct and continual control of beam spot size and beam currents continuously without OL Aperture change
6) 전자광학 작업 모드
- 필드 (Wide Field) : 스테이지 전체부위의 초점을 맞추어 관찰할 수 있는 모드
- 분해능 (UH Resolution) : 고 분해능 모드
- 피사계 심도 (Depth) : 중간 배율 정도의 상에서 초점거리가 상당히 차이가나도 이를 초점을 맞추어 관찰하는 모드
- 채널링 (Channeling) : 전자채널링 패턴을 확보하면서 결정방위 데이터의 평가작업 모드
- 오버뷰 (Overview) : 넓은 영역에서도 왜곡 되지 않고 보이는 디스플레이 모드
<2> 진공 시스템 :
1) 챔버 진공 : 고진공 모드 < 9 x 10-3 Pa
2) 시편 교체 후 메인 챔버 진공 도달 시간 : 통상적으로 < 3 분
<3> 챔버 Suspension : 내장된 엑티브 제진대
<4> 시편 스테이지 :
1) 유형 : Compucentric, 전 자동
2) 이동 : X = 80 mm 동등 or 이상
Y = 60 mm 동등 or 이상
Z = 49 mm 동등 or 이상
Rotation : 360° 연속 or 이상
Tilt: : –4° to +70° or 이상
3) 스테이지 모터 정확도 : 2um (X, Y) 동등 or 이상
<5> 디텍터 & 악세서리:
1) E-T : Everhart-Thornley 유형의 챔버 내부 디텍터
2) 저에너지 YAG 후방산란전자 디텍터 (<200eV) or HDBSD Detector(<200eV)
3) In-Beam Detector or Inlens Detector : 컬럼 내부에 위치한 scintillator 타입의 detector
4) Multi-Detector or Inlens Detector : Collects narrow angle electrons with high efficiency. It contains a grid for energy filtration.
5) 빔감속 기술(BDT) or Beam Booster : down to 50eV
6) pA Meter : 프로브 전류 측정
7) 터치 카메라 : 샘플이 챔버 어느 한 부분에 부딪혔을 때 스테이지가 멈춤
8) IR TV Camera : 챔버 내부 라이브 관찰
9) Decontaminator : 챔버 및 시편에 존재하는 HydroCarbon을 제거
10) 터보펌프 스퍼터 시스템
- 스퍼터 전류 : 0 to 150mA
- 최대 진공 : 5.0 x 10-5 mbar
<6> 이미지 사이즈 : 최대 16,384×16,384 픽셀
<7> UPS (Uninterruptible Power Supply)
<8> 현미경 조작 : 모든 현미경 조작은 마우스 및 트랙볼을 통하여 조작
1) Computer : Intel® Core i7-4790 Quad Core 3.60 GHz, RAM 16GB, HDD 2TB,
nVIDIA GTX760 2GB GDDR5, Windows 10 Pro 64-bit
2) 이미지 디스플레이 : 32“ LCD Full HD
<9> 자동 조작 : Automated SEM emission start
스팟 사이즈 및 빔 전류를 자동으로 최적화는 In-Flight Beam Tracing 작동거리(초점) & 비점수차 조절
명암 & 밝기 조절
주사 속도를 신호와 Noise에 따라 최적화
Complete Column Centering
진공 컨트롤
자동 자가 진단
<10> 소프트웨어 : 분석 & 측정
3D 충돌 모델
히스토그램
이미지 처리
X-Positioner
<11> 사용자 키 : 시료를 관찰한 정보를 ( 배율, 초점, WD 기타 등 ) 전자현미경에 set-up 하여 추후 같은 전자현미경 조건으로 비슷한 시료 관찰 및 저장
<12> Dynamic Focus : 스테이지를 Tilting하였을 경우, 시료 중심 부위에서 좌우의 상의 초점이 틀려지고 상의 왜곡이 발생하는 것을 전자적으로 조절하여 시료의 정상적인 이미지처럼 관찰.
<13> DCFA : Drift corrected frame accumulation.
2. Energy Dispersive Spectrometer System (EDS)
<1> 디텍터
1) 디텍터 유형 : SDD detector, LN2 free
2) 엑티브 영역 : 60mm2 or 이상
3) 디텍터 분해능 : ≤129eV or 이상 (@100,000 cps) at Mn Ka
4) Motorized detector retraction system
<2> 소프트웨어
1) 라이브 이미지 획득
2) 라이브 X-Ray 맵핑
3) 라이브 스펙트럼
4) Live Trace
5) Data Saving
<3> PC 및 모니터
1) 윈도우 10 (English, Korea)
2) 24“ TFT LCD Monitor
3) MS Office
4) 시스템 테이블