주식회사 두성기술
고온게이트전압시험기
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 칩검사기
2020-09-02
450,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
30,000원
본 장비는 파워 반도체 소자의 온도 및 전기적 특성을 평가하여 반도체 소자의 합격/불합격을 판정하는 시스템 장비로 자사 소프트웨어와 연동하여 결과값을 모니터링하는 장비입니다. 전력 반도체 일종인 MOSFET, IGBT 및 GaN, SIC 같은 재료 소자의 전기적 특성을 평가하는 항목으로는 보통 문턱전압, 브레이크다운 전압, 게이드-소스 누설전류, 드레이-소스 누설전류, 드레이-소스 온 저항 등을 측정하여 소자의 내성 즉 데미지가 있는지 없는지 확인 하는 절차로 진행 합니다. 그 중 HTGB 시스템은 온도 범위에 따른 반도체 소자 내부에 흐르는 누설전류량 을 측정하여 소자의 합격/불합격 판정을 하는 시스템 장비로 드레인 단에 전기적 스트레스를 인가 한 후 소스 단에 흐르는 누설 전류 값을 측정하여, 데이터시트에 나와있는 스펙과 비교하여 소자 특성의 합격/불합격을 판정 합니다.
본 시스템 장비는 80개의 각 디바이스에 발생되는 누설 전류량 을 개별 및 동시에 측정 할 수 있는 장비로 DUT 보드에 소자를 연결 및 파워 서플라이에 게이트 전압 인가 후 소스단에 흐르는 누설 전류 값을 자사 소프트웨어를 사용해 정밀하고 신속하게 누설 전류를 측정 및 소자 수명을 모니터링 할 수 있는 장점을 가지고 있습니다.
아울러 장비의 운용 환경으로는 윈도우 운영체제가 기반이어야 하며 시험간 소자에 적용되는 전압 및 전류 테스트를 지원 할 수 있는 케이블과 액세서리 등이 포함 되어져야 합니다.
1. 일반사양
시스템 제어 및 프로그램 제어기능
1) 시스템 제어용 PC가 제공 되어질것
2) 측정,제어용 프로그램 , 데이터 확인 및 저장용 프로그램 개별 제공
3) 시스템과 연동된 챔버의 온도 및 상태 조작이 가능할것
4) 도어는 High Voltage-Current-Power 시험을 위한 Interlock으로 구성
-도어를 열 때 시험 기기를 비활성화 기능 제공
-도어 Shield가 테스트 인터페이스에 단락될 때 고전압 및 고전류 경보를
활성화 기능제공
5) Data logging / multi Plexer
2. Power supply system
1) Stress power supply system Vg/Vds with Safety circuit
2) Drain power supply : 0 to 4.5KV이상
Monitor Resolution : 1V / Accuracy ±(2.0% F.S.)V
3) Gate power supply ±30V monitor range ±30.0V
Monitor Resolution 0.1V / Accuracy ±(2.0% F.S.) V
4) IV 용전원 + Current supply curcuit
5) 고전압 안전사양
5-1) chamber door open detection
5-2) watchdog timer
5-3) 챔버 도어락 설치
5-4) 비상정지스위치
5-5) System shutdown processing
5-6) protection against power outages
5-7) Two primary power line : chamber / control rack
3. Chamber
1) Chamber는 2개 이상
2) 온도 영역 : (Ambient temp +20)℃ to +250℃
3) 온도 resolution : 1.0 ℃
4) Network System : PC를 통한 모니터링, 제어, 온도데이터 저장 가능할 것
5) Door locking system : 고전압 시험에 따른 작업자 보호, 시료보호
4. 누설전류 모니터링 보호방법
1) Drain current
1-1) Range 30µA : Monitor range 0 to 30 µA / Resolution 0.01µA
/ Accuracy ±(2.0%F.S.)µA
1-2) range 3mA : Monitor range 0 to 3000µA / Resolution 1µA
/ Accuracy ±(2.0%F.S.)µA
2) Drain Over current Protection
2-1) Range 3mA : Monitor range 30 to 3000µA / Resolution 1µA
/ Accuracy ±(2.0%F.S.)µA
3) Gate Current
3-1) Range 10nA : Monitor range 0 to 10 nA / Resolution 0.01nA
/ Accuracy ±(2.0%F.S.)nA
3-2) Range 1µA : Monitor range 0 to 1000 nA / Resolution 1nA
/ Accuracy ±(2.0%F.S.)nA
3-3) Range 100µA : Monitor range 0 to 100µA / Resolution 0.1µA
/ Accuracy ±(2.0%F.S.)µA
4) OCP funtion ( Over current protection )
5) FET protection sequence
5) Gate Current / Drain current : protection circuit & software
6) 15KΩ protective resistor provided sample socket
5. Monitoring Circuit to chamber
1) Sample Protection - OCP ( Over Current Protection ) Features -each CH
2) Drain & Gate voltage H/W , S/W OCP dection period is every 10 seconds
/ File output cycle : 1 to 60 min
6. DUT board
1) Device는 80개 이상 테스트 가능
2) Burn-in board for Oven , 10 DUT / Max 250 ℃
3) Connection Board
2) Check board
3) TO-247,TO-220, TO-3P 적용, Max 250℃
7. 고전압용 케이블 및 측정용 실드케이블
8 장비의 구성
1) System Rack; Control PC / Power rack (오븐일체형)
시스템 파워 / 시스템 컨트롤 유닛 / 멀티플 스타트업 시스템
2) 챔버
3) DUT Burn-in board