씨엔엘테크놀로지
Brand New AccuThermo 610 RTP System
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열처리장치
2020-03-26
84,323,120원
기관의뢰
고정형
시간별
90,000원
1. 급속열처리 시스템 (Rapid Thermal Processing)은 최대 200 ℃/s 이상의 빠른 속도로 승온하여 시료를 단시간에 열처리하는 장비임
2. 구성은 챔버, UI를 비롯한 장비 조절 파트, MFC 및 가스 컨트롤 보드를 포함한 가스 박스, 비규격 샘플 캐리어 (Carrier), 쿼츠 라이너 (Quartz liner), 온도측정기, 칠러, 검교정용 부속품, 스페어 파트가 포함됨
3. 해당 장비의 주요 활용은 신속하고 정확한 열처리이기 때문에 온도에 대한 정확성, 재연성이 가장 중요한 요소임
4. 자연배기 분위기에서도 우수한 균일도의 열처리가 가능하며, 고온에서 안정적인 상태가 유지되어야 함
5. 고온에서 안정적인 챔버 구조이며 급속 승온, 냉각에 있어서 우수한 재질로 제작이어야 함
6. 고온을 사용하므로 장비 사용함에 있어서 안전장치가 있어야 하며, 긴급한 상태에 사용할 수 있는 긴급버튼 (EMO, Emergency off) 버튼이 있어야 함
7. 장비를 조작하는 컨트롤러 혹은 컴퓨터를 포함되어야 하며, 조작이 용이하며 실시간으로 정밀한 온도를 보여주며, 안전 부분에서도 적절한 기능을 탑재해야 함
8. 상세규격에 해당하는 부속품, 예비 부품은 정밀한 열처리와 공용 연구시설에 맞게 다양한 샘플을 공정하는데 필수적임
9. 전기 및 유틸리티의 전문적인 설치를 포함
1. Chamber module
- 균일한 온도 특성과 높은 열전도도를 가지는 알루미늄 챔버
- 균일한 온도 특성을 고려한 챔버 내부 표면의 금 코팅
- 균일한 가열을 위한 챔버 내 위, 아래 가열램프(Heating lamp) 교차 배열 (20개 이상)
- 가열램프 어레이(Array) 개수는 4존 이상
- 챔버 오염을 줄여줄 쿼츠 라이너 (Quartz liner) 사용 (챔버 내 상, 하, 좌, 우, 뒤 보호)
- 100~800 ℃ 온도 범위를 측정하기 위한 Thermocouple (열전대, K-Type)
- 400~1250 ℃ 이상의 범위에서 온도를 측정하기 위한 정밀 Pyrometer (고온계) 사용
- 고온, 고전력을 사용함으로 안전인증마크를 부여받은 제품일 것
- 급속 냉각을 위한 N2 혹은 Air 사용
- 긴급버튼 (Emergency off)
- 자동 잠금장치 (Interlock) : 덮개 개방, 과전류, 과열, 냉각수 및 공압 부족 시 작동
2. Gas flow module
- 최대 유량 : 10 L/min
- N2, O2 MFC (Mass flow controller)는 필수적으로 포함 (Shut-off Valve 포함)
- 확장성 : 최대 6개까지 설치 가능한 MFC
- 고온으로 운전되는 챔버의 영향에서 안전적일 것
3. Process
- 온도 정상상태 유지 (steady state duration) : 최대 600초 이상
- 승온 속도 (Ramp up rate) : 최대 초당 200 ℃ (200 ℃~1000 ℃ 구간)
- 냉각 속도 (Ramp down rate) : 최대 초당 200 ℃
- 공정 온도 범위 (Temperature range) : 최대 1250 ℃ 이상
- 온도 측정 정확도 ±1℃ 이하인 Pyrometer 사용
- 온도 측정 정확도 ±0.5℃ 이하인 Thermocouple 사용
- 온도 재연성 (Repeatability) : ±0.5 ℃ 이하 (온도범위 : 최대 1150℃)
- 열처리 균일도 (uniformity, Rs) : ±5% 이하
(온도범위 : 최대 1150℃, 6인치 웨이퍼 크기 , 1 sigma deviation)
- 공정 재연성 (Repeatability) : ±5% 이하 (Wafer to Wafer)
- 공정가능한 시료 크기 : 작은 조각 ~ 6인치 웨이퍼
4. UI (User Interface)
- 실시간 온도를 감지하여 챔버에 반영함
- 실시간 데이터 프로파일을 보여줌
- 실시간 데이터 저장하여 기록 및 타 PC에서 분석 가능함
- 검교정 된 장치와 TC 웨이퍼를 사용하여 장비의 온도 보정이 자동으로 가능함
- 공정 레시피(Recipe)를 수정 및 이용하여 모든 공정을 자동화하며 타 PC에서 레시피를 생성 및 수정하여 장비에 바로 적용 가능 해야함
- 고온 공정 시 장비 프로그램에 이상이 발생하면 안전시스템 작동
- 공용장비로 활용 시 안전을 위한 잠금기능
- 조작에 용이하고 간편한 인터페이스
- USB (시스템 백업용) 포함
- 타 PC에도 설치가 가능한 프로그램을 제공