누리텍
NRPC-500
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
2020-04-16
98,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
100,000원
1. 패럴린 코팅은 상온의 진공상태에서 가스 형태로 형상에 관계없이 나노미터 및 마이크로미터 두께 단위로 피사체에 증착되는 고분자 코팅을 의미함.
2. 증발기와 기화기 히터가 분리되어 있어, 장비 유지 관리 및 온도 개별 제어가 용이함.
3. 챔버 사이즈는 Φ 300 mm x H 400 mm 이상이며, 8 inch 크기 샘플이 로딩 가능하며, 회전이 가능한 테이블 및 챔버 내 baffle 구조로 코팅 균일도 제어가 가능함.
4. Rotary pump를 통해 진공을 유지하며, cold trap(-70℃ 이하)을 이용하여 진공 라인 오염을 방지 할 수 있어야 함.
5. 코팅 층의 안정성 부여로 다양한 물질(금속, 세라믹, 폴리머, 반도체 물질, 복합재 등)에 코팅 진행이 가능하여야 함.
6. 데이터 관리 시스템을 통하여 장비 이력 관리, 공정 레시피 제작 및 수정이 가능함.
1. 진공 파트
- 진공 펌프: rotary pump (제안서 제출 시, 메이커 표기)
- 진공 컨트롤러: convectron 게이지 컨트롤러, 튜브 게이지 및 케이블 포함
- 장비 On/Off 및 상압 밸브: electrical control 밸브
- Cold trap용 칠러: –70 ℃ 이하
2. 챔버 파트
- 챔버 재료: SUS304 혹은 동등 규격
- 챔버 크기: φ 300 mm x H 400 mm 이상 (8 inch 샘플 로딩 가능)
- 8 inch, 6 inch, 4 inch 및 조각 웨이퍼 호환 가능한 다층 지그 (다량 샘플 동시 로딩 가능) - 코팅 균일도: 챔버 내 baffle 구조 혹은 동등 기능을 가진 구조 포함
- 챔버 오픈 방식: 매뉴얼 밸브 수동 조작 혹은 핸드레버 타입
- 진공 라인: 배기 파이프, cold trap 시스템, 엘보, 벨로우즈, 악세사리 포함
- 지그 및 회전 가능 테이블: 알루미늄 혹은 동등 스펙 지그, 회전 가능 테이블 (모터 포함)
3. 증발기 및 기화기 파트
- 증발기 히터: 최대 250 ℃ / 기화기 히터: 최대 1,000 ℃
- 튜브: SUS304 혹은 동등 규격(증발기) 및 SUS301s 혹은 동등 규격(기화기)
- Dimer 로딩용 보트: SUS304 혹은 동등 규격
4. Adhesion promoter(A.P) 파트
- A.P 공정용 히터/챔버 및 배기 시스템 포함
- 다양한 물질(금속, 세라믹, 폴리머, 복합재료 등) 위 코팅층 형성 가능
5. 장비 작동 및 시스템 파트
- 작동법: 수동/자동 조작 호환 가능 (PLC control 및 PC/모니터 포함)
- User 관리: 로그인 하는 user 레벨에 따라 접근 가능한 화면/기능이 제한
- 데이터 이력 관리 시스템: 온도, 진공도, 시스템 에러, 공정 레시피 정보 포함
- 장비 이상 알림 기능: 공정 중 장비 이상 발생시, 알람 발생 기능 필요
6. 유틸리티 셋업
- 전기 배선
- 유틸리티(Cold-dry air, 질소, 배기) 훅업 포함