네온테크
NDS-1012
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 가공/리페어/절단장비
2020-06-16
100,190,000원
기관의뢰
고정형
건별
30,000원
1. 본 장비는 조각 시편에서 8”웨이퍼까지 다양한 재질의 기판을 원하는 규격으로 절단하는
장치로서 반도체 소재의 실리콘, 유리, 퀄츠 기판 등을 손상 없이 정밀하게 절단할 수 있어야 함.
2. 구성은 본체 내부에 X축, Y축, Z축, θ축 구동축 구동축을 포함하며, 저배율/고배율 카메라,
석정반, Dicing chuck table 등이 포함 되어야 함.
3. X-Y, θ축 스테이지는 모터를 이용하여 정확하고 정밀한 범위로 조작할 수 있으며, 자동 정렬 기능을 통해서 패턴 매칭 또는 edge finding 기능이 가능하고 자동으로 기판을 Y축 일직선상에 정렬이 가능해야 함.
4. 반도체 소재의 여러 모재를 절단하기 위해 실리콘 전용 Hub type과 그 외 모재를 절단하기 위한 hub-less type 두 가지 종류의 블레이드를 사용할 수 있어야 함.
5. 장비 운전 중 블레이드의 파손과 Dicing chuck의 파손을 예방하기 위한 BBD(Broken Blade Detection) 및 NCS(Non Contact System) 두 가지의 센서 모드를 지원해야 함.
6. 블레이드 교체가 용이하여야 하며, 얼라인 마크 타입을 자동 프로그램을 통해 손쉽게 보정할 수 있어야 함.
7. 동작 시에 위험 상황을 인지 할 수 있어야 하며, 상황별 안전장치가 반드시 적용되어야 함.
8. 시스템은 사용자가 조작하기 쉬우면서 안전해야 하고, 정품 Windows가 내장되어야 함.
1. 제품 사이즈 : 8인치 링 프레임
2. X축
- Stroke : 220 mm
- 절삭 범위 : 0.01 ~ 200 mm
- 절삭 속도 : 0.01 ~ 400 mm/sec.
- 최소 스텝 : 1 um
3. Y축
- Stroke : 220 mm
- Indexing Range : 0.0001 ~ 210 mm
- Indexing Speed : 100 mm/sec
- Y-single pitch error : 0.001 mm/5mm
- Y-포지션 오차 : 0.003 mm/200mm
- 최소 스텝 : 0.1 um
4. Z축
- Stroke : 40 mm
- 최소 스텝 : 0.5 um
5. θ축
- 회전 각도 : 380° (반시계방향 320° , 시계방향 60°)
6. Work part
- Work align : 고해상도 비전 카메라구동 자동 얼라인
- 얼라인 정밀도 : 0.001 도 / 1회전 내
- 90도 편차 : ±0.002/200mm
- 얼라인 마크 위치 허용한도 : ±0.1 mm
7. 스핀들
- 스핀들 형식 : 1 Spindle Brushless DC motor 디지털 제어
- 출력 : 2.4 kW Front mount Brushless DC motor
- 출력범위 : 10,000~60,000 RPM
- 영점자동설정 – 자동기능
- 모터 종류 : Air bearing, Shaft lock Type
8. 블레이드
- 56 mm 2” 다이아몬드 휠 사용
- hub/ hubless type
9. 오토 비전 사양
- 비전 위치 위상차 보정 기능 탑재 (헤어라인 보정기능)
- 고/저 배율 2 카메라 탑재
- 집중 광 조명(LED) / 주변광조명(HALOGEN) 독립 제어 총 4채널 디지털
- 카메라 위상차 보정, 오토 포커싱 기능
- 조명 밝기 자동 기억 및 수치 값 저장 가능
10. Control part 사양
- Motion Control : Mithubishi PLC 사용
- 터치스크린 시스템
- 현재 가공중인 라인 및 가공 상태 등 모니터링 가능
- 프로그램 모드 자동 / 사용자 / 점검 / 데이터 영역으로 세분화 및 직관화
- 시험 컷 후 헤어라인 자동 보정 기능 탑재
11. 센서 유닛
- Broken Blade Detection
- Non Contact System
- 자동 정렬 : Pattern Matching or Edge Finding
12. 유틸리티
- Power : 220V, 3Phases 30A, 50/60Hz
- Air Pressure : 0.6~0.8Mpa
- Water Usage : Cutting 6L/min./ Spindle Cooling : 1.5L/min.
13. PC 사양
- OS : Windows7 Professional 32bit (ENG) 포함
- CPU : Intel Core 3세대 i3-3220 Dual-Core 3.3GHz 이상의 사양
- Memory : (SAMSUNG) DDR3 4GB 이상의 사양
- ODD : (LG) DVD-MULTI