Heidelberg Instrument
MLA150
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2020-04-03
569,661,780원
없음
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기관의뢰
고정형
건별
200,000원
반도체 제조 공정의 핵심인 포토공정(Photolithography)에 필요한 포토마스크(Photomask) 제작과 함께 포토마스크없이(Maskless) 미세 패턴을 전사할 수 있는 Direct Writing 기능으로부터 Mask Aligner의 역할을 동시에 수행할 수 있는 설비
<장비 구성>
1. 주장비 : Maskless Aligner 1 set
2. 부속장비
1) Laser Diode 1 set
2) Write Head 1 set
3) Control and Conversion PC 1 set
4) Conversion Software 1 set
<성능>
1. Maskless Aligner
1) Stage size : loading 200mm x 200mm
2) Max. Exposure area : 200mm x 200mm
3) Auto Alignment system
4) Max. throughput 1100mm2/min
5) 2nd layer alignment accuracy : 500nm
6) Real-time autofocus range : 80um
2. Laser Diode
1) Wavelength range : 405nm
2) Power range : 8W
3. Write head
Min. feature size : 2.0um (Positive PR 1.7um 기준)
--> UV option 無 --> Negative PR 사용 암됨