대흥과학
DCH4-198
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 건조시스템
2020-07-28
30,800,000원
기관의뢰
고정형
시간별
50,000원
○ 본 장비는 클린룸 환경에서 사용되며, 2G(370×470mm2)급 기판의 반도체 공정의 후처리 공정으로 고온 및 진공상태에서 잔여가스를 빠르게 제거하는 용도로 사용됨.
- 잔여가스를 빠르게 제가할 수 있도록 구성되었음.
○ 챔버 내부의 슬롯은 8개 이상으로 구성되며 2G(370*470mm2)기판을 쉽게 넣고 뺄 수 있도록 서랍식이나, 볼베어링으로 구성되며, 기판의 이탈을 방지 할 수 있도록 제작됨.