유니젯
UniJet_2G
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2020-08-31
907,150,000원
기관의뢰
고정형
건별
50,000원
○ 본 사업에서 구축하고자 하는 2세대급 유기 박막 패터닝 시스템은 대면적 OLED 면광원 제작 공정 중 핵심인 유기 반도체 박막 제조 및 패터닝 공정을 담당하여, OLED 조명 기업 시생산 지원 및 상용화 제품 생산 지원에 필수적인 장비임
○ 구체적으로 2세대급 유기 박막 패터닝 시스템은 2세대급 Rigid substrate (370mm × 470mm2) 기판 위에 OLED 조명 패널 제작을 위한 유기 반도체 박막 층을 형성하는 장비로, 2세대 기판 상에 100nm 미만의 균일한 박막 형성과 별도에 마스킹 공정 없이 OLED 조명 패널 구현을 위한 패터닝을 동시에 구현
○ OLED 조명 패널 제조 원가 절감에 필수적인 용액공정 (solution process) 기반 박막 패터닝 공정 구현을 위해, 유기 고분자 (혹은 단분자) 물질을 유기 용매에 용해시킨 용액을 단층 혹은 다층 박막 구조를 연속 제조 방식으로 형성하는 것을 기본 특성으로 하며. 다층 구조의 유기 박막 패턴을 정렬하는 기능을 포함
1)GENERAL SPECIFICATIONS
○ WORK AREA
- Porous vacuum chuck : Carbon(400 × 500 × 30 ㎜)
- Substrate size : < 2G (370㎜ × 470 ㎜2)
○ MOVING SYSTEM
- 3-axis robot module : X, Y, Z stage
- Alignment module : Dual Z-axis stage
- Substrate transfer module : Linear stage
○ SOLUTION PROCESS-1
- Coating method : Slot-die coating
- Work area : 370 × 470 ㎜
- Coating thickness : > 0.05 ㎛
- Coating uniformity : ± 5 % (@ 0.1 ㎛ coating thickness)
- Slot-die coating width : < 370 ㎛
- Ink supply : Syringe infusion pump
- Die alignment : Two Pencil probe
- Flow rate : 26 ㎖ /m(10 ㎖ syringe) ~ 88 ㎖/min m(60 ㎖ syringe)
- Flow accuracy : ± 1 %
- Operation : Recipe auto run
○ SOLUTION PROCESS-2
- Coating method : Ink-jet printing
- Work area : 370 x 470 ㎜
- Ink supply : Piezo and Pneumatic
- Nozzle alignment : Optical, 1-CCD camera set
- Jet monitoring : Optical drop watcher
- Nozzle head : Piezo type Jet head (128 nozzle)
- Printing resolution : 10 ㎛
- Printing pattern : User design & Import(BMP, JPEG, DXF, etc.)
- Controller : Jet driver
- Operation : Recipe auto run