(주)네온테크
NDS-1612s
11년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 가공/리페어/절단장비
2020-05-28
92,400,000원
기관의뢰
고정형
기타
60,000원
<장비명>
플랙서블 기판소재 sawing 장비 (Sawing machine for flexible substrate materials)
<장비개요>
- 플랙서블기판소재/전자소자의 정밀 절단 (sawing) 장비
- Glass/PI, 플라스틱, Si/SiC등의 플렉서블 및 Rigid 기판의 정밀 절단
- 플랙서블디스플레이, 센서, 태양전지 등의 전자소자 정밀 절단
(수요자의 요구사항에 맞게 공정 개발 및 서비스 가능)
- Z축 정밀 조절 공정을 활용한 플랙서블 기판소재/전자소재의 부분 절단 공정
<주요기능>
1. Manual Loading/ Unloading
2. Vision Alignment
3. Dicing Saw
4. Air/ Water Shower
<장비구성>
1. Chuck Table : 12인치 사각 및 원형 동시
2. X-axis Unit
- Stroke : ~600mm이내
- Cutting Range : 0.01~300mm이내
- Cutting Speed : 0.01~400mm/Sec.이내
3. Y-axis Unit
- Stoke : ~370mm이내
- Y-Single Pitch Error : 0.002mm/5mm
- Y-Positioning Error : 0.005mm/365mm
- Min. step : 0.1um
4. Z-axis Unit
- Stoke : ~40mm이내
- Min. step : 0.1um
5. T-axis Unit
- Rotation Angle : ~380°이내
- Chuck Contact : NCS
6. Spindle Unit
- Speed Range : 10,000~60,000 RPM이내
- Air Bearing Type
- 2.0kW at 60,000 RPM
7. Control System
- PLC + PC Based Control System
- Error and Alarm Display at LCD Display with tower lamp