Keyence
VK-X1050
10년
주장비
시험
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
2019-11-22
124,500,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
50,000원
광학현미경, SEM, 형상측정기, 표면거칠기측정기의 기능과 특징을 모두 갖춘 확대관찰형상 측정시스템으로,
KEYENCE사의 VK-X1050(형상 측정 레이저 마이크로스코프)를 이용하여 대면적 측정가능한 입체레이저현미경입니다.
컨트롤러
- 관찰배율: 19,200배 이상(고배율 렌즈 기준)
- 최소 시야 범위: 3600㎛ 이상(저배율 렌즈 기준)
- 프레임 레이트(레이저 측정 속도): (면측정) 4~125㎐, (라인측정) 7900㎐ 이상
- 포커스베리에이션광학계(고속, 대면적 측정용)
- 레이저공초점 광학계(핀 홀 공초점 방식, 고정밀도 측정용)
측정부
- 높이 측정용 프레임 메모리: 16 bit 이상
- 광량 프레임 메모리: 12 bit 이상
- 전동레볼버
- 측정 렌즈부: 2.5x, 5×, 10×, 20×, 50×, 100× (6개)
- 전용 링조명: 2.5x, 5×, 10× (3개)
- 리볼버상하 구동박식 : 스토로크 7mm, 내장리니어스케일분해능 5nm
- 정확도: 측정값의 ±2% 이내
- 레이저 스폿 직경: 0.9㎛ 이하
높이 측정
- 표시분해능: 5㎚ 이하
- 반복 정도 σ: 20×기준: 40㎚ 이하, 50×기준: 20㎚ 이하
폭 측정
- 표시분해능: 10㎚ 이하
- 반복 정도 3σ: 20×기준: 100㎚ 이하, 50×기준: 50㎚ 이하
관찰
- 초고해상도(560만 화소) 컬러 CMOS 화상
- 포토멀티플라이어 16 bit 레이저 컬러 공초점 화상
- 공초점 +ND필터 광학계
- C-레이저 미분 간섭 화상
측정용 레이저 광원
- 파장: 적색 반도체 레이저 661nm(레이저안전규격 2등급)
- 최대출력: 최대 1㎽
- 레이저 등급: 레이저 안전 규격 2등급
- 샘플 표면의 색 정보를 취득할 수 있는 백색 LED 광원도 함께 사용
스테이지
- 전동 XY 스테이지 : 100㎜ × 100㎜