BOET
DJL-800
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
2021-03-08
401,464,050원
직접사용
고정형
시간별
원
- 수동형 광부품에 들어가는 산화물 잉곳 성장용 전기로 장비로 5G SAW 필터용 LiTaO3 단결정 성장 장비
- 단결정 장비내 산화물 seed 단결정을 이용하여 고온에서 원재료를 용융하여 성장시킴
○ 공정 챔버부
- 챔버크기 : ∅ 800 x 1,050 mm
- 팽창압력 : 0.08MPa 이하
- 냉각방식 : 수냉식
- 승온온도 : 최대 2,000℃
- 챔버구성 : View port, 가스 port, 냉각수 port, 진공 port 등 포함
○ 구동부
- 인상높이 : 450 mm이상
- 회전속도 : 0.3~30 RPM 범위 이상
- 인상속도 : 최대 18,000 mm/hr 이상
○전원공급 장치부
- 최대출력 : 40 kW 이상
- 비상전원공급장치 : 20분 이상
○제어 장치부
- 제어장치 구성 : PC(Window 버전), 제어SW, 모니터, PLC Controller, Alarm 기능 등 포함
- 잉곳성장 제어 : 무게센서(로드셀)