Star Technology
A200e
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
2019-12-30
327,800,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
100,000원
프로브 스테이션은 파워 반도체 소자의 전기적 특성을 분석하기 위해 8” 웨이퍼 얼라인먼트와 세미오토 프로빙을 위한 장비로서 소자특성 측정기와 연동하여 Sub-Picoamp 레벨에서 최대 10KV, 600A까지 광범위한 측정범위를 가지고 정밀한 스텝핑 정밀도와 -60°C 에서 300°C 까지의 넓은 온도영역에서 저온 및 고온에서의 전력 소자특성 분석이 가능하며 MOSFET, IGBT 및 GaN 및 SIC 같은 재료의 소자를 평가할 수 있는 장비이다.
- Max Voltage : 10kV
- Max Current : 600A
- High Current Positioner
- High Voltage Positioner
- Wafer 6“
- Chuck Resolution : ~ 0.5um
- Temperature range : -55℃ to 300℃
- Probe tips : tungsten / 0.5um
- Semi Auto Probe System
- Chuck isolation > 100GΩ
- Drivers Software : ACS Software
- Tester Integration system