Keysight
B1505A
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 칩검사기
2019-12-30
368,500,000원
직접사용
고정형
시간별
100,000원
소자특성 측정기는 파워 반도체 소자의 전기적 특성을 분석하는 장비로서 Sub-Picoamp 레벨에서 최대 10kV, 500A까지 광범위한 측정범위를 가지고 정밀한 µΩ 온저항(on-resistance) 측정과 10µs 고속 펄스 기능으로 전력 소자의 특성 분석이 가능하며 MOSFET, IGBT 및 GaN 및 SIC 같은 재료의 소자를 평가할 수 있는 장비이다. 본 장비는 커브 트레이서 기능을 탑재하여 디바이스 결함을 검출할 수 있어야 하며 고전압과 고전류에 의한 특성 분석을 위한 고출력용 프로브 스테이션과 연동하여 시험 수행이 가능해야 한다. 또한 테스트 픽스처의 크기나 모양에 관계없이 다양한 소자를 사용할 수 있어야 한다.
- High Voltage : 3kV
- High Current : 500A
- Measure Range : 0.1fA to 100A
- Measure rasolution : 0.1fA
- Source Range : 5mV to 10kV
- High Voltage Mode : 3kV / 120mA
- High Current Mode : 40V / 500A
- IGBT , MOSFET , Capacitor , BJT , Resistor , Diode
- Probe Station Integration system