TESCAN
VEGA3 LMU
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2019-11-05
241,890,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
30,000원
시료의 표면, 단면, 나노스케일의 입자크기 분석 등을 고분해능(3.5nm at 30KV)의 SE 이미지 분석을 수행한다.
EDS를 이용한 정량, 정성분석의 화학분석과 EBSD를 이용한 시료의 texture와 같은 구조분석이 가능하다. 이와 같은 이미지분석, 화학분석, 구조분석이 시료의 같은 지점에서 동시에 분석가능하다.
1) SEI : 3.0 nm at 30kV or better
2) BEI : 3.5 nm at 30kV or better
3) Low vacuum : 3.5 nm at 30kV or better
4) Magnification : x2 ~ x1,000,000 or more
5) Accelerating Voltage : 200V to 30kV or better
6) Probe Current : 1pA to 2uA or more