(주)펨스
PMC-300
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프린팅장비
2020-02-04
85,500,000원
원
- 블레이드를 기판과 저각을 이루도록 설치하여, 용액을 끌고가면서 넓은 면적에 균일한 두께로 용액을 코팅함.
-슬롯다이를 이용하여 넓은 영역에 용액을 균일하게 코팅함.
- 이를 위해 기판을 고정하는 장치, 블레이드 위치 및 이동속도를 조절할 수 있는 장치가 필요.
기판 이송장치
- X축 구동 : 리니어스테이지(전자기장)
- Single silder type
- Travel : Max 1000mm
- Linear motor force : 300N
- Linear scale grating pitch : 40㎛
- Linear encoder resolution : 1㎛/ct
- Load capacity : 20Kg
- Repeatabillity : ±1㎛
- Straightness/Flatness : ±10㎛/300mm
- Max speed : 0.5m/sec
- Acceleration : 1G
코팅헤드 구동부
□ Z축 구동
- 좌우 2축 구동
- 구동 요소
- Ballscrew : 연삭급 / 볼리테이너타입
Type : THK / 2005 모델
- LMGuide : 연삭급 / 볼리테이너타입
Type : THK / 20 모델
- Servo Motor : 200w
위치제어 모듈 / 동기화제어
Mitsubishi사 적용
- 감속기 : P1급
감속비 : 1:10 / Apex사
- 진직도 : 3/100mm
- Repeatabillity : ±10㎛
Coating Module
- Glass 고정 지그 (Blade 모듈 형태)
- 다양한 크기의 Glass 장착 가능
- Glass 회전 각도 표시
- Flatness : less 0.01mm
Slot-die 잉크 공급 장치
- 적용 펌프 : 실린지펌프
- 최소 공급 - 0.5㎕
- 최대 공급 - 50/60ml