주식회사 엘에이티
LIS-54
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2019-12-30
594,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
150um, 8inch SiC Wafer의 후면에 금속박막을 증착하기 위한 Inline Sputtering System으로 25ea의 Wafer를 장입하여 순차적으로 다층 금속 박막을 증착가능한 장비입니다. Sample을 장입하고 증착 후 Exit Chamber로의 이송까지 전자동화 기능을 포함하고 있습니다.
1) Main Chamber & Frame 1 ea
2) Process Stations 4 ea
3) Entry / Exit Chamber & Frame 2 ea
4) 12inch Magnetron Cathode 4 ea
5) 5KW DC Power Supplies 4 ea
6) Vacuum Gauge Controller 1 set
7) Gas Controller 1 set
8) Control Rack 1 set
9) HMI/System Controller 1 set
10) Solenoid Valve Assy 1 set
11) Sample Hoder 50ea
12) Turbo Pump and Controller 2 set
13) Cryo Pump With Compressor 1 set
14) spare Shields 1 KIT(process kit) 1 set
15) 25 Slot Cassette
16) Dry Pump 2 ea