Bruker
DektakXT
10년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 위치측정장비
2019-10-14
48,623,530원
기관의뢰
고정형
건별
30,000원
도측정기(Roughness measuring instruments)는 스타일러스 탐침을 이용해 4 옹스트로의 반복 재현성을 이용해 나노 수준의 표면을 측정하는 장비이다. 반도체 제조과정에서 단위공정(Etch & Metal) 또는 모듈공정을 모니터링하기 위한 장비이며 접촉식 팁으로 표면을 스캔하여 라인프로파일을 해석하는 장치이다. 측정한 프로파일은 형상을 알려 주며 가장 큰 형태의 폼과 웨이브니스, 러프니스로 나뉠 수 있으며 이를 해석하면 정량적 결과인 단차, 거칠기, 스트레스 등을 측정할 수 있음. 또한 웨이퍼(기판)위에 형성된 표면의 형태를 단면윤곽으로 알 수 있는 장비이다.
(1) Measurement method
- Contact(stylus profilometry)
- 2D scan(line)
- Stress scan
(2) Stylus Head
- Vertical Range : 50 Å ~ 1 ㎜
- Vertical Resolution : ≤ 1Å
- Force : 1 ~ 15 mg
- Scan length : 55 ㎜
(3) Probe Tip
- Radius : 100 ㎚ ~ 20 ㎛
- Aspect ratio : ≥ 9
- User exchage : Possible
- Exchage time : < 10 min
(4) Stage system
- Size : 8-inch wafer vacuum chuck
- X,Y Moving : 4“ x 4“ Manual
(5) Camera System
- Field Of View : 0.3 ~ 2 ㎜
(6) Reliability(Standard Block)Deviation Percent/10 time)
- Repeatability(STDEV/10time) : < 0.2 %
- Accuracy(STDEV/10time) : ± 1.5 %