바코솔루션
VMA PVD SYSTEM_6
12년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2019-11-01
170,000,000원
원
자체 개발한 무연 압전 조성 타켓을 활용하여 수십 나노미터 두께의 박막을 증착시키기 위한 장비로 무연조성 개발 뿐만 아니라 외부에서부터 올 수 있는 오염의 문제가 발생하지 않도록 설계된 공정 장비임.
[VMA PVD SYSTEM]
● VMA Source RF+DC Source Assembly
● Magnet Assembly
● RF Matcher& Power Assembly
● PVD Chamber Assembly
● Process Shield Assembly
● System Frame Assembly
● Turbo Pump Assembly
● Rotery pump Assembly
● Vacuum Gauge Assembly
● Process Gas line Assembly
● Mass flow meter Assembly
● Roughing line Assembly
● Lift Module Assembly
[LOAD LOCK SYSTEM]
● L Chamber Assembly
[UTILITY SYSTEM]
● Utility Module
_PCW Manifold Assembly
_CDA Module
[ELECTRICAL ASSEMBLY]
● Electrical Box
_Analog I/O Module
_Digtal I/O Module
_Solenoid Out-Put Module
[SYSTEM SOFTWARE]
● Software Program
_PC & Monitor