지엘테크
SURFIEW M9900
5년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2019-09-16
372,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
50,000원
박막형상 및 면저항 측정기는 시료의 비파괴 방식으로 2세대급 크기의 OLED소자의 특성(패턴, 표면형상, 면저항)평가가 가능하여 제작 과정 중에 발생할 수 있는 소자의 defect risk를 보완하여 보다 효율적인 기업지원이 가능함
○ 본 장비는 수 nm의 유/무기 박막, Photolithography, Etching 공정이 필요한 OLED조명/디스플레이 소자의 제작 과정 중 발생 할 수 있는 박막 표면의 결함, 박막의 단차 등을 미리 확인하여 소자 불량률 감소 및 수율 향상으로 기업 지원 시제품 신뢰성 확보
○ 본 사업에서 기 구축한 2세대급(370×470mm2) Photo patterning 장비(습식식각세정장비, 감광액도포기, 노광기)와 유기패턴정렬장비, 전극증착장비 등과 함께 단위공정 별 불량 및 결함 분석 등 기업지원 용도
○ OLED조명/디스플레이 소자는 매우 얇은 여러 유기막으로 이루어져 있기 때문에 LCD, LED, Plasma display등 다른 디스플레이 소자들 보다 훨씬 기판 및 증착 물질의 표면 형상, 거칠기 측정이 중요함
○ 이러한 OLED소자의 전기적 안정성 및 발광 균일도 향상을 위해 미세패턴의 정밀도 및 불량 분석이 필요함
○ 광학계
- 시료의 3차원형상 및 두께, 면저항 등을 측정하기 위하여 다양한 렌즈군으로 구성된 테렛을 이용하여 측정하고자 하는 표면을 확대하여 관심영역을 관찰할 수 있도록 하는 장치
- 광학계 구성은 제조사마다 보유기술에 따른 사양차이가 있음.
(1) 대물렌즈(Objective Lens)
① Objective Lens Turret : 5 Selectable(Automatic)
② 렌즈구성 : 2.5x 2D 또는 5x 2D, 10x 3D, 20x 3D, 50x 3D
(2) 줌렌즈(Zoom Lens)
① Zoom Lens Turret : 3 Selectable(Automatic)
② 렌즈구성 : 0.55x, 1.0x, 1.5x, 또는 0.5x, 0.75x, 1.0x
○ 3D측정(Surface Profiler Measurement)
- 시료의 표면을 확대하여 관심영역의 3차원형상 및 거칠기를 측정할 수 있도록 구성된 장치
- 최대 370*470㎟의 대면적을 측정가능
① Lateral Resolution: 0.1㎛(M50x/Zoom1.5x or 1.0x)
② Vertical Resolution: 0.1nm
③ Scan Speed : 15㎛/sec 이상
④ Scan Actuator : Piezo Actuator
⑤ Scan Feedback Sensor : Capacity Sensor
⑥ Scan Range : 150㎛ 이상
○ Motion system
(1) X-Y axis
- Stage moves in X,Y direction with Ball Screw and Liner Guide
① AC Servo Motor System
② 2 limit switches (for both of X and Y direction)
③ Measuring travel range: 370×470mm2
④ Travel range: 500×550mm이상
⑤ Scale resolution : 0.01㎛
⑥ Max. velocity : 250mm/sec
⑦ Repeatability : ± 1.5㎛
(2) Z-axis
- Head moves in Z direction with Ball screw
① AC Stepping Motor
② 2 limit switches
③ Travel range : 80mm
④ Scale Resolution : 0.1㎛ 이하
⑤ Max. velocity : 10mm/sec 이상
⑥ Repeatability : ± 1㎛이하