KLA-Tencor
D-600
5년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2019-09-18
62,663,400원
원
Probe에 의해서 측정하고자 하는 샘플 표면을 스캔하여 표면의 단차를 이용하여 두께를 측정
1. X-Y 스테이지 (X-Y Stage): Auto (Motorized) Stage
2. 시료 척 가능 크기 (Sample Chuck Size): 최소 지름 8 in (203 mm) wafer
3. X-Y 스테이지 이동거리 (Stage Movement): 150 x 150 mm 이상
4. 최대 스캔 거리 (Max. Scan Length): 50 mm 이상
5. 탐침 힘 조정 가능 범위 (Stylus Force): 15 mg 이하
6. 최대 측정 가능 높이 (Max. Measurement Height): 1000 um 이상
7. 측정 재현성 (Step Height Repeatability): 5 Å 이하
8. 높이 측정 분해능 (Vertical Resolution): 1 Å 이하
구성:
1. 박막두께 측정장치
2. 컴퓨터 컨트롤러
3. 진동방지 테이블 (Vibration Isolation Table)
4. 장비구동용 소프트웨어
성능:
1. X-Y 스테이지 (X-Y Stage): Auto (Motorized) Stage
2. 시료 척 가능 크기 (Sample Chuck Size): 최소 지름 8 in (203 m