LEICA
Leica DCM-8
9년
주장비
계측
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
2019-07-17
226,892,030원
기관의뢰
고정형
시간별
47,269원
1. 수직 분해능 : 0.1 nm 또는 동등 이상
2. 공초점 측정속도 (면) : 15Hz 이상
3. 광학 해상도 : 0.15㎛ 또는 동등 이상
4. 높이 측정 재현성 : 0.0002 ㎛ 또는 동등 이상
5. 수직분석기능 : 형상, 거리, 각도 거칠기 측정이 가능 할 것
6. 수평계측기능 : 자동 폭 측정, 평면계측, 평탄도 측정 등이
가능 할 것
7. 거칠기 측정 : ISO4287에 의거한 2차원 거칠기 Ra, Rz, Rp, Rv Rt, Rc, Rmr등이 가능 할 것
ISO25187에 의거한 3차원 거칠기 Sa, Sz, Sp, Sv St, Sc, Smr등이 가능 할 것
8. 측정원리 : Confocal and Interferometry방식의
Dual Core Imaging Profilometry 방식 일 것
9. Detail Specification of Main System
1) Microscope unit : Confocal & Interferometry Microscope
2) Multi function :
- HD Confocal scanning microscope
- Interferometry / 3D Surface Metrology microscope
- Interferometry capability : VSI & PSI & PSI (3 types)
- Capabilities : HD Imaging, HD 3D Topography, Profiles,
Coordinates, Thickness, Roughness, Volume, Surface
1. HD Confocal & Interferometry Microscope
1) Confocal Scan Head and Stand
2) Auto-stage unit
- Scanning stage
- Tilting stage
3) Objective Lens (6ea)
- Confocal Objective 5x
- Confocal Objective 10x
- Confocal Objective 20x
- Confocal Objective 50x
- Confocal Objective 100x
- Interferometry Objective 20X (Mirau Type)
2. Control unit
- Controller and Workstation with 27 inch Monitor
- Joystick with Jog-dail and Control S/W
3. Confocal imaging, Analysis and metrology software
4. Active anti-vibration table (능동형 초정밀 제진대)
* 성능 및 규격(Performance and Specification)
1. 수직 분해능 : 0.1 nm 또는 동등 이상
2. 공초점 측정속도 (면) : 15Hz 이상
3. 광학 해상도 : 0.15㎛ 또는 동등 이상
4. 높이 측정 재현성 : 0.0002 ㎛ 또는 동등 이상
5. 수직분석기능 : 형상, 거리, 각도 거칠기 측정이 가능 할 것
6. 수평계측기능 : 자동 폭 측정, 평면계측, 평탄도 측정 등이 가능 할 것
7. 거칠기 측정 : ISO4287에 의거한 2차원 거칠기 Ra, Rz, Rp, Rv Rt, Rc, Rmr등이 가능 할 것
ISO25187에 의거한 3차원 거칠기 Sa, Sz, Sp, Sv St, Sc, Smr등이 가능 할 것
8. 측정원리 : Confocal and Interferometry방식의
Dual Core Imaging Profilometry 방식 일 것
9. Detail Specification of Main System
1) Microscope unit : Confocal & Interferometry Microscope
2) Multi function :
- HD Confocal scanning microscope
- Interferometry / 3D Surface Metrology microscope
- Interferometry capability : VSI & PSI & PSI (3 types)
- Capabilities : HD Imaging, HD 3D Topography, Profiles,
Coordinates, Thickness, Roughness, Volume, Surface
Texture, etc.
- Contrast modes : HD Confocal, HD Interferometry (PSI, VSI), HD Brightfield Color, Brightfield, Darkfield, Real Time HD RGB Confocal 기능이 있을 것
3) Camera : 2/3“ CCD with 1360x1024 pixels, 35fps, 이상
Sequential color to Each ppixel in real color
4) Light source : 4-LED light source 이상
- 청(460nm),녹(530nm),적(630nm),백(White)
5) Nosepiece : 6 Hole motorized revolving nosepiece
6) Stage
① Auto-stage (X-Y) :
- Method : Motorized Scanning stage 일 것
- XY Stroke : 300 × 300 mm 이상
- 360° Rotary plate
- Driving resolution : 0.05um or better
- Position reproducibility : ±1um or better
- Loading capacity : 10kg or more
- Control method : control using GUI and joystick
- Supporting wide-field observation by automatic stitching
function
② Tilting stage
- Tip tilting of the complete stage 12x12“ (7°) to achieve
null-fringes in interferometry or more
7) Auto-stage (Z-axis) : 1) Storke : 40 mm or more
2) Detection : Linear scale
3) Resolution : 0.0002um(2nm) 또는 동등 이상
4) Auto focus
8) Manual Z-stroke : 150mm stroke
9) Width Measurement : 1) Min. Measurment : 0.001um
2) Repeatability : 10nm(3δ)
10) Height measurement : 1) Resolution : 0.1nm or batter
2) Accuracy : < 0.7% relative error
3) Repeatability :
- Interferometry : 0.17nm(at 50 x)
- Confocal : 3 nm ( at 50 x )
4) Measuring Range : 40 mm