HITACHI
7200-H
11년
부대장비(부가장치) (주장비:)
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2002-03-12
50,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
40,000원
FE-SEM 부대장치
고진공중에 놓여진 시료표면을 1-100㎚정도의 미세한전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차 전자, 반사전자, 특성X선등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량 등의 분석을 행하는 장치이다.
UPS, 7.5kVA(Backup time 30min),KS-3075
Liquid Nitrogen Dewar, 30L
SEM chamber Viewing system, ETP
Auto Titrator System
Data Processing Unit