주식회사 루미시스
VK-X1100
10년
주장비
시험
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
2020-01-22
262,286,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
45,000원
본 장비는 공초점 레이저 현미경으로 광학현미경, SEM, 형상측정기, 표면 거칠기 측정기의 기능 및 특징을 모두 갖춘 측정 시스템으로 대면적 기판 전 면적에 대해 미세패턴 품질과 결함 분석이 가능
- 스테이지 크기(스트로크): 1100㎜ⅹ1300㎜
- 관찰배율: 28,000배 이상(150ⅹ 렌즈 기준)
- 최소시야범위: 3600㎛ 이상(5ⅹ 렌즈 기준)
- 높이 측정 표시분해능: 0.5㎚(반복정도 σ: 50ⅹ 12㎚)
- 폭 측정 표시분해능: 1.0㎚(반복정도 3σ: 50ⅹ 50㎚)
- 정확도: 측정값의 ±2%이내