1) 주장비 : 광부품 수차 및 표면 측정기
○ 측정범위 및 정밀도
- Sampling points : 102 × 102 point 이상
- Design Configuration : Infinite – Finite
- Field measurement : Field angle 25 deg. 이상
- Sample effective focal length : 10mm 이하
- Sample exit pupil diameter : 0.6 ~ 10mm 범위 이상
- Wavefront accuracy : λ/10 이하
- Wavefront repeatability : λ/200 이하
- Wavelength : 455nm, 533nm, 635nm
- Measurement speed : 4Hz 이상
- Motorization : Field measurement, sample rotation
- Alignment aid : Automated system tracking during alignment
○ 측정 소프트웨어

2) 보조장비 : 액세서리
○ Reference 샘플 1ea
○ 장비 운영 PC 및 모니터 1set